Q&A

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Deposition

Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막]

Author
CVDENG'R
Date
2023-06-03
Views
3078

현재 반도체회사에서 CVD 엔지니어로 근무중에 있습니다.

최근 CuSi 공정에서 지속적으로 Thickness에 문제가 발생하여 Wafer Map을 확인하게 되면 Compressive한 Map으로 관찰되고 있습니다.

Wafer를 Compressive하게 변화하게 만드는 source가 대부분 어떤게 있는지 알 수 있을까요? (Ex. AlF, Plasma, Temp ETC)

 

Total 1
  • 2023-06-16 11:49

    박막과 관련해서는 군산대학교 주정훈교수님을 추천합니다. 문의드려 보시면 좋은 답변을 얻으실 수 있을 것 같습니다. 

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