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PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
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Date
2024-05-25
Views
1622
안녕하세요 지금 연세대학교에 재학중인 학부생입니다. 다름이 아니라 PECVD실험을 해서 논문을 쓰고 싶은데 PECVD 실험에 대해서 질문드리고자 합니다. PECVD실험을 할때 저희가 변수를 세워야 할 것이 뭐가 있을지 조언을 얻고 싶습니다. 그리고 pe-cvd를 이용하여 박막을 증착시킬경우 박막 특성을 평가하기 위한방법에는 어떤 것이 있나요?
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