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Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파]
Author
Date
2024-06-13
Views
3613
안녕하세요
2.45[GHz]를 사용하는 마이크로웨이브 플라즈마에서
Electric field가 chamber 내부로 투과하는것이 아닌 유전체와 플라즈마 경계에 Surface wave mode로 형성되는 조건이 궁금해서 문의드립니다.
일반적으로 2.45[GHz]에서 cut-off density가 7.4x10^11[1/m^3] 로 알고있는데 이 cut-off density 이상의 플라즈마 밀도가 형성되면 surface wave mode로 작동하는 것이 맞을까요?
항상 홈페이지에서 많이 배우고 있습니다.
교수님의 고견을 여쭙습니다.
감사합니다.
이미 잘 아시고 계십니다. 이제 표면파가 반응기 내의 플라즈바 표면에서 전파되는 현상을 공부해 보세요.