Q&A
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Chamber component
Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator]
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Date
2024-06-24
Views
3023
안녕하세요 한양대학교에서 연구중인 연구원입니다.
ALD 공정 진행중 plasma를 방전시키는 순간 갑자기 펌프가 꺼지면서 장비상에 Forward와 Reflect가 계속해서 잔여한다고 나오는 상태입니다.
Matcher와 연결된 수관의 온도가 일시적으로 높아져서 matcher에 이상이 생겨서 그럴 수 있을까요?
수관의 온도를 낮춘뒤에도 계속해서 Forward와 Reflect가 걸리고 있고 이 때문인지 펌프가 계속 켜지지 않고 있습니다.
사진과 같은 상황입니다.
감사합니다.
계속해서 잘 되다가 갑자기 이런 문제가 발생했고 공정 조건을 변경한 것은 없었습니다.
급하실 것 같아 서둘러 답신 드립니다. 한양대학교 교내에 있는 플라즈마전자공학 연구실/나노과학기술 연구소에 문의해 보세요 RF 문제를 잘 다뤄주실 것 같습니다.
RF signal이 들어가지 않으면 Forward와 reflect는 발생할 수 없습니다. 이 값들이 같고 6553W, Set power point 0W로 세팅 되어 있고 RF off로 되어있으니, 통신 오류를 의심해 봐야 할 것 같습니다. RF generator와 PLC 연결 지점에 protocol 혹은 아날로그를 사용하고 계신다면 아날로그 Analog Input(장비쪽 input)을 확인해 봐야 할 것 같습니다.