서울대학교 원자핵공학과

박설혜 교수  Seolhye Park
Department of Nuclear Engineering, Seoul National University

seolhye.eedf@snu.ac.kr


연구
· 전공분야: 핵융합 및 플라즈마 물리
· 연구분야: 플라즈마 물리 및 플라즈마 정보 AI의 산업 응용

학력
· 2015서울대학교 원자핵공학 박사
· 2008서울대학교 원자핵공학 학사

경력
· 2026-현재서울대학교 원자핵공학과 부교수
· 2024-2025한국재료연구원(KIMS) 소재국가기술전략센터 기술자문위원
· 2021-2023한국핵융합에너지연구원(KFE) 공정장비지능화 융합연구단 기술자문위원
· 2019-2020국가과학기술연구회 반도체 국산 지능형 공정 장비 융합연구단 연구기획 자문위원
· 2024-2026삼성디스플레이 IT 사업부 Principal Engineer
· 2022-2024삼성디스플레이 Mobile Display 제조기술센터 Principal Engineer
· 2016-2021삼성디스플레이 Mobile Display 제조기술센터 Staff Engineer
· 2015-2016삼성디스플레이 연구소 Senior Engineer
최근 논문
 
· 2022 Review of Data-Driven Plasma Science, IEEE Trans. Plasma. Sci. 51 (2023) 1750.
· Data-driven plasma science based plasma etching process design in OLED mass production referring to PI-VM, Plasma Phys. Control. Fusion 66 (2024) 025014.
· Plasma heating characterization of the large area inductively coupled plasma etchers with the plasma information for managing the mass production, Phys. Plasmas 31 (2025) 7.
· Plasma heating characterized PI (Plasma Information) index for large-area capacitively coupled RF discharges in the mass production system, Phys. Plasmas 32 (2025) 8.