===============================<질문>=======================================




안녕하십니까??


궁금한게 있어여...


플라즈마 장비를 공부하다가 이상한 단위를 만나서요...


좀 알려 주세요.. sccm 이라는 건데요...


무슨 가스량을 나타내는 단위이긴 한거 같은데.. 정확한 내용을 몰라서요..


어떤 뜻인지..알고 계시면 좀 알려주세요.. 부탁 드립니다.. 좋은 하루 되세요...






==============================<답변>========================================




SCCM 은 flow rate를 의미합니다. 즉 torr-liter/sec (t-l/s)와 같이 쓰입니다.


sccm은 standard cc per minute로 (0C, 1atm 상태에서의 값입니다.)


1sccm= 6.02e23/22400cm^3 molecules / min 즉 분당에 2.7e19개의 분자입자들이 흘러들어가는 정도의 기체유량을 의미합니다.


참고로 1 t-l/sec와는 79.05sccm인 관계가 있으며 1 t-l/sec= 2.13e21 molecules/min의 관계입니다.