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Full Face Erosion 관련 질문

작성자
김곤호
작성일
2008-12-16
조회
21623

안녕하세요.

Full face erosion 관련 자료를 찾던 중 이곳까지 오게되었습니다. 인터넷검색으로는 자료를 찾을수가 없어서


이렇게 글을 올립니다.




high deposition rate가능, long time process가능, 간단한 process control


등의 장점은 대충 알고 있으나, 어떠한 구조인지, 어떠한 원리로 위의 장점들이 가능한지,


단점은 무엇인지, 기존 sputter와 차이점 등등 FFE에 대한 자세한 내용을 알고싶습니다.




답변해 주시면 정말 많은 도움이 될 것같습니다.


자료를 올려주셔도 괜찮습니다 ^^;;;


사회초년생으로서 배울것이 너무 많은것 같네요.


염치없지만 부탁드립니다 ㅠ.ㅠ      

전체 2
  • 2008-12-12 13:40
    - 어떤 현상을 의미하는 것으로 보이는데, 어떤 장치에서 일어나는 현상인지, 전후 상황에 대한 소개있으면 일부 답변을 찾아 볼 수는 있을 것 같습니다. 저 또한 전혀 생소한 용어로 저희가 답을 드릴 수 없을 것 같습니다. 죄송합니다. 혹시 다른 전문가 분들의 고견이 있을 수도 있으니 기대해 봅니다.
  • 2008-12-16 08:24
    US Patent 6228235 참조하세요..
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