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RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [장비의 접지, 절연 관리]

작성자
조정안
작성일
2009-08-05
조회
27594

수고가 많으십니다.

저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.


업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.


Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데  RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.


그럼 수고하십시요.

전체 1
  • 2009-08-05 12:52
    - 제 생각으로는 큰 무리가 없을 듯 합니다. RF 노이즈는 실제 반응기 내에서 문제라기 보다는 외부 접지를 타고 들어오는 것이 더 문제가 될 것입니다. 따라서 외부에서 구동회로의 전원이 RF를 타지 않도록 접지와 절연을 독립시켜서 잘 해 주는 것이 더 중요할 것으로 생각됩니다. 참고가 되었으면 합니다.
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