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Etch

Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술]

작성자
김기권
작성일
2009-08-07
조회
25054

저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는  ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.

전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.  

전체 1
  • 2009-08-07 17:14
    - 추천드리는 참고서는 염근영 교수 저, 플라즈마 식각 기술 (미래컴) 입니다. 권장합니다.
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