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터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!

작성자
작성일
2009-09-17
조회
20398

목포대학교에서 플라즈마 응용 박막에 대해 연구하는 학생입니다..



궁금한게 있어서요~



현재 저희 장비의 2차 펌프는 T.M.P입니다.



음~ 저희는 장비 실험이 끝나고 TMP를 냉각의 이유로 3시간동안~ OFF Time을 주고 전원을 내립니다..



항상 의문이였거든요~ 꼭 3시간동안 장비를 켜놔야하나?



칠러나 장비가 장동하는데~ 소음이 심하다라는게 거슬리고



또 TMP를 냉각하는 3시간동안 저의 시간이 자유롭지 못 한것도 하나의 이유이구요!







그래서 한번은 TMP를 분리해 보았습니다..

근데 통신케이블 과 전원 케이블 ,냉각수 라인 밖에 없더군요...





진공을 해제할때 TMP 스위치를 내리는데~ 그러면 TMP전원은 들어오지 않죠~

당연히 데이터 이동도 필요없고 그져 냉각수만 돌려주면 될껏같은데



결론으로 제 생각은요~ 냉각수 1시간만 돌려도 ,TMP는 차가워지는걸 알수잇는데~~



오일확산펌프처럼 손으로 만져서 차가워지면 꺼도 되나요??



아니면 냉각이 아닌 어떤 다른 이유가 있나요??



궁금해 죽겟습니다... 도와주세요



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  • 2026-04-05 15:39

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