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Matcher

matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계]

작성자
김정욱
작성일
2010-05-05
조회
32129

안녕하세요...

저는 반도체 회사에서 근무하는 사람입니다..


matching box 관련하여 질문이 있어서 글을 올립니다..


현업에서 matching box관련 monitoring하는 parameter중 Load position과 Tune position이란 게 있습니다..


여기 사이트에서 load capacitor와 tune capacitor 얘기가 언급되어 아마 capacitor 관련 용어인 것으로 짐작


되어 지는데 정확한 의미와 역할을 알고 싶습니다..


제 나름대로 확인한 바로는 impedance matching은 L nework와 Pi network가 있는데 위에서 언급한 Load


capacitor와 Tune capacitor는 Pi network에서 사용되는 2개의 capacitor 이름인가요?


답변 부탁 드립니다..

전체 1
  • 2010-05-05 13:54
    - 해당 의견에 대해서는 여러번 설명이 있었으니 본란을 살펴보시고 이에 관해 훌륭한 참고 논문이 있으니 참조하세요.

    - 논문: 이상원박사, " 전기적 특성을 고려한 ICP Source 설계",한국진공학회지 제18권 제3호 2009.5, pp. 176~185(10pages) 를 참고하세요.

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