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ATM Plasma

플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성]

작성자
김병인
작성일
2014-06-20
조회
5006

안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

전체 1
  • 2014-07-15 13:52
    대기압 조건에서 플라즈마를 형성시키는 방법은 다양하고, 말씀하신 바와 같이 대부분의 대기압 플라즈마에서는 플라즈마에 의한 라디컬 생성을 목적으로 하여 소스를 개발하는 경우가 많습니다. 관점은 대기에 노출되어 있다면 공기를 구성하는 가스 들로 부터 라디컬이 생겨 원하는 '종의 제어'가 쉽지 않다는 점과 이들의 잔존시간과 반응횟수가 중요하며 이는 소스와 시료와의 거리에 따라 민감하다는 점입니다. 따라서 대체로 대기압 공정은 플라즈마 및 라디컬 생성의 단순함의 이득을 능가하는 환경의 유지와 제어의 어려움을 고려해서 공정을 정의하시는 것이 필요합니다.

    대기압 소스 방식에 대해서 잘 리뷰가 되어 있는 교재로는

    J. Reece Roth 의 Industrial Plasma Engineering (Vol 1 and 2), Institute of Physic Publishing 을 추천합니다.

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