Q&A

Q&A 게시판은 현재 아카이브 용도로만 유지되고 있으며 새로운 질문은 받지 않습니다. 질문사항이 있을 경우 seolhye.eedf@snu.ac.kr로 교수님께 이메일을 보내주시기 바랍니다.

The Q&A board is now kept as an archive only and no longer accepts new questions. If you have any questions, please email Prof. Seolhye Park at seolhye.eedf@snu.ac.kr.

Matcher

13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]

작성자
ㅇㅇ
작성일
2014-07-10
조회
3731

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

전체 1
  • 2014-07-15 14:17
    resonantor의 matching 문제는 장치 구조와 coupling position에 민감할 것 같으니, 간단한 회로 모델이라도 찾아 해석하면서 field 해석을 해야 운전 조건 찾기가 좋을 것 같습니다.
목록보기