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고진공 만드는방법. [System material과 design]
작성자
작성일
2017-12-15
조회
3460
background pressure 이 10^-7이 되게 하려면
단순히 diffusion pump 와 rotary oil pump만을 이용해서 만들수있나요??
그리고 전체적인 구조는 어떻게 될가요. background pressure 가 10^-7이면
ultrahigh vac을 만드려고 하는거 같은데 ion pump 나 TSP가 추가돼야 할까요?
단순하게 이론적으로 궁금하네요.
시스템 재료, 설계와 물리는 문제입니다. 진공 이론은 제법 소개가 많이 되어 있으니, 전문 서적을 참고하시고, 설계 등의 상세한 내용은 이전 한국표준과학연구원의 진공센터 혹은 '첨단측정장비연구소 내 반도체측정장비연구그룹'에서 자문을 구할 수 있을 것 같습니다.