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Plasma in general

RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계]

작성자
시쿠임
작성일
2018-12-30
조회
2696

안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.

 

감사합니다.

전체 1
  • 2019-01-24 12:41

    글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.

    다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.

    아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.  

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