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Monitoring Method
Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정]
작성자
작성일
2019-03-26
조회
4322
안녕하세요.
반도체업계 종사자인 이우림이라고 합니다
다름이 아니라 300mm wafer위에 파티클 오염 분석을 진행중인데요.
혹시 300mm wafer를 coupon이 아닌 full wafer 상태로 삽입하여 wafer위의 파티클 성분 분석이 가능한 장비를 보유한 연구소를 알고 계신지요?
향후 분석에 꼭 필요한데 해당 장비 보유한 연구소를 찾지 못하는 상황입니다.
혹은 장비 관련 정보라도 알려주시면 감사하겠습니다.
세정쪽입니다. 서울대 화공과 김재정교수님, 혹은 한양대 재료화학공학과 박진구교수님께서 답변을 주실 것 같습니다.