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Process
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]
작성자
작성일
2019-05-26
조회
2852
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
성균관 대학교 염근영교수님께서 쓰신 "플라즈마 식각기술" (미래컴 출판) 을 추천합니다.
말씀해주신 책은 지금 보고있는 중입니다! 가스에 대해 좀 더 공부하고 싶은데 다른 교재가 더 잇을까요? 원서여도 좋습니다
고전으로는, Manos and Flamm 저작 " Plasma Etching" (Academic Press 1989)가 있습니다.