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Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]

작성자
양심만세
작성일
2020-09-08
조회
3662

안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.

궁금한 점이 있어 문의 드립니다.

 - DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.

 - 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.

어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.

감사합니다.

 

전체 2
  • 2020-09-09 17:58

    특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. . 

  • 2020-09-10 11:02

    안녕하세요. 답변감사드립니다. 제가 정확히 질문을 하지 못한 것도 같아 다시 문의 드립니다.

    챔버는 ground되어 있습니다. 

    DC sputter에서 Gun의 shield와 Gun의 하우징이 ground보다 floating되는 것이 DC sputter에서는 더 좋다고  Gun 제작업체가 이야기 하는데 잘 이해가 되지 않아 이유가 궁금해서 문의 드린 내용입니다.

    감사합니다.

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