Q&A
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Chamber component
플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기]
작성자
작성일
2020-12-10
조회
2784
안녕하세요.
반도체 장비를 생산하는 업체의 연구실 소속 최재혁이라고 합니다.
자사가 생산하는 제품중에 오존 발생기가 있으며 이 생산 제품의 주요 부품에 대해서는
전량 수입에 의존 하고 있습니다.
언급된 주요 부품에 대해서 설명을 드리면 Chamber로 이루어진 발생장치 안에 O2를
주입하고 촉매제와 플라즈마를 이용하여 O3를 발생시키는 역할로서 발생기의 핵심이라
고 할 수 있습니다.
자사 보안 규정에 따라 자세한 내용을 설명드릴 수 없는 점 양해를 부탁 드립니다,
핵심 기술에 대한 위탁 및 공동 연구개발을 계획하고 있습니다.
교수님께서 시간이 되시면 저희 회사 인원과 함께 찾아 뵙고 프레젠테이션을 진행 했으
합니다.
감사합니다.
연구원님, 아쉽지만 저희가 오래 전에 이온나이저 관련 연구를 했었어서, 낡은 지식밖에 남아있지 않습니다. 저희가 별 도움이 되지 못할 것 같습니다. 오존발생기에 대해서는 KIST에 한승희박사님을 추천드립니다. 역시 오래전에 오존발생기에 대해서 깊은 연구를 수행하신 경험이 있으신 것으로 알고 있습니다. 문의, 감사합니다.