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Plasma Source
플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건]
작성자
작성일
2021-03-18
조회
3172
안녕하십니까. 반도체 업체에 근무하고 있는 회사원입니다.
다름이 아니라 플라즈마에 챔버에 대해 질문이 있어 이렇게 글을 올립니다.
플라즈마 챔버 설계를 진행하려 합니다.
혹시....... Gas를 NF3를 사용하게 되면 스테인리스 챔버로 제작를 진행해도 괜찮을까요?
아니면 알루미늄 챔버로 제작을 해야 하나요?
위 두가지 챔버 제작의 경우 사용 불가한 이유가 있으면 알고 싶습니다.
너무 궁긍하여 글을 올립니다.
답변 부탁드립니다.
챔버 재료 선택에 앞서 처리 대상인 공정을 좀 더 면밀하게 조사사실 필요가 있어 보입니다. 일반적으로는 식각 공정에 metal을 직접 노출시키지는 않으며 Al 챔버를 사용하는 이유는 열팽창/수축에 유리하기 때문입니다. 따라서 Al2O3 coating을 한 내벽 shroud 을 장착합니다. 화학반응+내열조건에 대해서 반드시 고려하셔야 하고, 진공 seal 과 전기적 접촉도 중요하다고 알고 있습니다. 참고가 되었으면 합니다.
답변 감사합니다.
제가 사용하려고 하는 공정은 Remote plasma(NF3)를 이용한 장비 챔버 Clean입니다.
하여 Remote Plasma 챔버를 제작하여 Test를 해보려 합니다.
Plasma 챔버 제작시 스테인리스와 알루미늄 두 가지 종류 모두 Test 예정이며, 두 가지 챔버 모두 사용 시 Test 도중 발생할 수 있는 상황에 대하여 사전에 알아보고 싶어서 글을 남겼습니다.
혹시 선택에 있어 문제가 있는 부분이 있으면 고견 부탁드립니다.