Q&A
Q&A 게시판은 현재 아카이브 용도로만 유지되고 있으며 새로운 질문은 받지 않습니다. 질문사항이 있을 경우 seolhye.eedf@snu.ac.kr로 교수님께 이메일을 보내주시기 바랍니다.
The Q&A board is now kept as an archive only and no longer accepts new questions. If you have any questions, please email Prof. Seolhye Park at seolhye.eedf@snu.ac.kr.
OES
CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]
작성자
작성일
2021-07-16
조회
4135
현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다.
OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.
혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?
저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요.