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Etch
Plasma 식각 test 관련 문의 [플라즈마 데이터 처리]
작성자
작성일
2021-12-13
조회
6912
안녕하세요.
플라즈마 식각 중량변화 테스트를 O2가스와 NF3,AR(3:1) 비중으로 60분동안 200W전력 조건으로
제품은 불소고무 O-RING 입니다.
할 수 있는곳이 있을까요??
도움 부탁드리겠습니다..
플라즈마 데이터를 기반으로 처리 결과를 자료화 해야 할 것 같습니다.
일반 연구실 보다는 표준연에서 가능할지 모르겠네요. 표준연 이효창박사님 연구실 또는 핵융합연구소의 장비 지능화 연구센터 (윤정식박사) 팀에 문의해 보시면 어떨까 합니다.