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N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma]

작성자
윤태화
작성일
2022-05-12
조회
4690

안녕하세요. 반도체회사에서  PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.

 

GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.

 

1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점

3. N2 / N2O  두 Gas의 Plasma 차이점 

4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..

 

위 4개 질문드립니다. 

 

감사합니다.

전체 1
  • 2022-05-29 16:11

    저희는 질소 및 질화막 공정에 익숙하지 않아 답변이 궁색합니다.

    관련해서 최근 N2 관련 플라즈마를 깊이 연구하고 있는 그룹이 있어 소개해 드립니다. 아마도 연락을 취하시면 도움을 받을 수 있을 것 같습니다. 

     

    한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단 (Plasma E. I. Convergence Research Center): http://www.kfe.re.kr 

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