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Chamber Impedance
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]
작성자
작성일
2022-07-24
조회
4120
안녕하세요 디스플레이 근무 중인 사람입니다
질문
1.Chamber 환경 변화시 VPP 값의 변화
EX) 주기성 Parts 절연체 감소로 인한 Chamber 변동 시
2. 압력과 VPP의 상관관계
이 두가지 질문을 드립니다
제가 많이 부족하여 이렇게 쉬운것도
짊질문을 한점 양해부탁드립니다ㅜㅜ
아래 두번째 질문 (663 및 Vpp 설명)의 답변을 눈여겨 보시면 좋을 것 같습니다. 해당 답변에서 Vpp 는 plasma potential 로서 V~ (tilda)가 본 질문의 Vpp(peak-peak)전압에 해당함을 참고해서 살펴 보시기 바랍니다. 아울러 V x I = P 로서 같은 전력에서 V 가 바뀌면 I 도 바뀌는데, 여기서 모든 값은 고주파 값이므로 두 위상차이의 변화에도 관심을 가져야 합니다. 따라서 Vpp 값과 Ipp 값 및 위상값의 변화를 함께 관찰하는 것이 바람직 합니다. 따라서 Vpp 값으로 현상을 고려할 때 Ipp 가 어떻게 변하고, V와 I의 위상값이 감소 또는 증가하는 쪽으로 바뀔 것인가를 모두 고려해 보려는 시도가 중요합니다. 이제 이 변동의 원인에 대해서도 같이 생각해 보시면서 아래 답변을 참고하시기 바랍니다.
(참고로 주기성 파트에 전압은 파트에 입사하는 이온 에너지, 전류는 파트에 입사하는 이온+전자전류를 의미한다고 가정해 보세요.)