Q&A
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PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산]
안녕하세요
항상 많은 도움 감사합니다.
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
CCP TYPE CVD 공정의 경시성 현상에 관한 질문입니다.
일반적으로 경시성은 Shower Head 의 불균일한 Oxidation에 의해서 발생을 하게 되는데
Oxidation이 심하게 되는 부위에서 Oxide 막이 두껍게 형성되어,
Shower Head에서의 열이 방사율이 높아짐에 따라 산화가 많이 된 쪽이 Heat Loss가 더 커질 것으로 판단되는데요
일반적으로 Oxidation의 경우 Center 대비 Edge 쪽에서 많이 이뤄져서 Edge 쪽 방사율에 의해 Edge 막의 Temp가 더 낮을 것으로 예상했으나
실제 현상으로는 Center 쪽 막의 Temp가 더 낮은 현상이 일어납니다.
이론적인 부분과 실제 현상이 매칭이 잘 안되어서 혹시 원인이 무엇일지 궁금해서 의견 어떠신지 질문드립니다.
(Edge 영역으로 열전달이 많이 될 수 있는 매커니즘이 있는지 궁금합니다)
전극 표면의 온도 분포에 대해서는 시뮬레이션 결과들이 있을 것으로 예상됩니다.
일단 표면 온도 분포에 영향을 미치는 인자는 공간 상에 형성된 플라즈마 분포가 될 것 같습니다.
따라서 본 게시판에서 플라즈마 분포, 또는 플라즈마 확산의 주제어로 검색을 권장합니다.
제 생각에는 플라즈마 분포로 부터 생각을 정리해 가시면 좋을 것 같습니다.