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Plasma Source
RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭]
작성자
작성일
2024-02-08
조회
2852
안녕하세요..
RF를 사용한 플라즈마를 만들때 RF는 파동형태로 전달이되며 임피던스가 맞지 안으면 반사되어 되돌아오는걸로 알고 있습니다.
RF도 교류이기때문에 전기공학에 쓰이는 전기처럼 전압,전류의 위상차로 인해 발생하는 무효전력이 power source로 되돌아 온다고 보면 될까요?아니면 RF(13.56MHZ)의 반사파를 설명할때 다른 원리로 설명을 해야할까요?
임피던스, 리엑턴스와 같은건 전기공학에 나오는 식으로 RF도 같이 설명이 가능한것 같은데 RF의 반사파(reflector power)는 무효전력 개념으로(공식) 설명(이해)을 해도 되는지가 궁금합니다..
Transmission Line model 모델을 적용해도 무리가 없습니다. 플라즈마의 임피던스 파악이 핵심이 되니, impedance matching 에 관해 공부해 보시면 좋습니다.