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파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능]
작성자
작성일
2024-02-15
조회
2834
안녕하세요..
파장에 따른 동축케이블 길이 관련 궁금증이 있어서 문의드립니다.
예를들어 13.56Mhz RF의 파장 길이는 대략 22m이고,
동축케이블의 감쇄율등을 감안하면 대략 14.?m 정도 나오는걸로 알고 있습니다.
그래서 케이블 길이를 14.?m 또는 반파장(람다/2)로 하라고 하는데요..
여기서 왜 이렇게 해야하는지 이해가 잘 안됩니다.
특히 1/4파장은 절대로 안된다고 하는데요..
위 내용을 이해하기 쉽게 좀 알려주실수 있을까요?

Wavelength= wave speed*velocity factor/Frequency로 한파장을 계산합니다.
일반적으로 1/4, 1/2, 3/4, 1 람다로 사용합니다. 해당 신호는 RF이면서 교류이기 때문에 신호의 시작점에서 matching 컨트롤 하기 편하기 위해서 그럴 것 같습니다.
예를 들어 13.56MHz 에 66%의 속도의 케이블의 1람다는 14.6m 1/2람다는 7.3m 1+1/2람다는 21.9m 입니다.
사인파 웨이브의 한 파장 길이가 1람다라고 말합니다.
절대 안된다고 하는 것에 대한 정확한 이유는 모르겠습니다만 아마 사용하시는 match의 phase error 시그널 관련 tuning이 되지 않아서 그럴 것 같습니다.
해당 평가 설비 시 RF component의 의견을 한번 보셔야 할 것 같습니다.
동축 케이블 길이와 파장을 맞추는 이유가 뭘까요? 생각해 보세요.
아울러 RF 전원 (내부 저항 R=50ohm)과 matcher를 거쳐 플라즈마 본체와 연결이 되는 구성입니다. 여기서 동축 케이블 길이로 가정해야 하는 길이는 어떻게 정의할 수 있을까요? matcher의 기능을 고려해서 생각해 보시기 바라며, 전원 관점에서 보면 matcher + 연결부 (안테나/전극)의 임피던스와 플라즈마 임피던스 (반응기 임피던스)를 포함해서 전원의 임피던스 (R=50ohm)에 맞게 됩니다. (매처의 기능입니다.) 따라서 현재 질문은 전원 출력단으로 부터 어디까지 길이를 의미할까 이렇게 생각해 보시기 바랍니다.
파장의 형태를 고민하는 이유는 matching 범위 내에 놓이는가를 판단하려는 일차 목적을 가질 것이이, 이 방식의 생각을 추천합니다.
아울러 RF 플라즈마를 다룰 때는 플라즈마 임피던스를 기반으로 해석을 합니다. 전기회로 해석과 동일한데, 여기서 플라즈마는 active component로 passive R/C/L 값으로 dynamic 특성을 잘 추적해서 조절하는 것이 플라즈마 제어라 할 수 있습니다. 생각을 키워 보시기 바랍니다.