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Ashing

H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure]

작성자
김영완
작성일
2010-04-10
조회
27800

안녕하세여... 자료를 찾던중 도저히 모르겠어서 답변 부탁드립니다. 현재 H2 플라즈마로 표면 처리를 하고 있습니다. 그러나, 폴리머 계통이 잘 Ashing되지 않아, O2를 쓰려고 합니다. 몇몇 업체에서는 미량의 산소를 수소와 함께 쓰는 것으로 알고 있습니다. 그러나 산소와 수소가 섞이면 반응하는 것으로 알고 있어서 위험할 것 같아서 질문드립니다. 수소 플라즈마에 산소를 섞으면 얼마의 비율로 섞어야 하는지 궁금합니다. 정확한 수치가 없다면, 제가 찾아봐야할 관련자료라도 알려 주시면 고맙겠습니다. 감사합니다. 답변 꼭 부탁드립니다.

전체 1
  • 2010-04-10 19:15
    H2/O2 반응에 의한 폭발은 일정 이상의 압력에서나 가능합니다. 실제 H2/O2 사용시 50Torr이하에서는 거의 무방하며, 이상에서도 5%이하 비율은 100Torr정도는 사용 가능합니다. 찾아보시면 H2/O2간 비율과 압력대에 따른 가용 영역을 실험한 자료들이 있습니다. 상압 ashing이라면 힘들것 같습니다. 참고하시고 안전 운용하시기 바랍니다.
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