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석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어]

작성자
김영완
작성일
2010-04-16
조회
22739

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.



plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?




플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나




안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데




석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

전체 1
  • 2010-04-14 20:37
    일반적으로 석영관 사이에서 방전하려면 압력이 낮거나 아주 높은 전류를 인가해야합니다. 보통 안테나 영역은 상대적으로 높은 압력이라 방전하기 힘들겠죠? 내부에 있다면 충분히 가능한 얘기겠구요.

    안테나 내부에 사용된다면 전계에 영향을 주지 않고 내구성이 우수한 계열의 재료가 좋겠죠? 제가 알고 있는 내에서 말씀드리면, 석영을 사용하는 가장 큰 이유는 플라즈마 내식성이 우수하고, 불순물 함량 제어가 가능합니다. 사용 환경에 따라 식각에 대한 내구성도 뛰어납니다. SiO2의 결합력이 강하기 때문에 원하지 않는 2차 반응에 대한 특성이 좋다는 얘기겠죠. 표면 거칠기도 작아서 표면 charging에 의한 안정성도 좋습니다. 투명하기 때문에 표면 crack damage에 대한 관리상의 이유도 있습니다. 석영의 제조기술은 상당히 발전해있어 표면처리 방식이나 불순물 제어를 통해 더욱 내구성이 좋은 내부재로의 활용도 가능합니다.

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