반응기 설계 시 global model 을 사용해서 플라즈마 밀도와 온도를 예상하고 이를 적용해서 공정 시나리오를 예상해 볼 수 있습니다. 여기서 사용하는 global model 은 plasma 하전 입자 밀도와 전자 온도를 energy balance 와 particle balance equations으로 연립해서 해를 구해 얻습니다. gloabl model 이라 하면 여기서 얻은 밀도/온도는 모두 chamber 내에 균일하고 분포한 플라즈마를 가정한다, 즉 공간 분포를 고려하지 않음을 의미합니다.

이 모델에 대해서는 게시판이나 플라즈마 기초 교재에서 찾아 보실 수 있습니다. 혹시 두 식을 모두 세우기 힘들다면 입력 전력은 인가 전력으로 가정하고, 전자 온도를 2-4 eV 에서 선택하고 Ar 기준으로 풀어봐도 근사값을 얻으실 수 있을 것 같습니다. 관련 연구 결과들과도 비교해 보세요.